发明名称 一种高精度磁编码器用磁鼓的制备方法
摘要 一种高精度磁编码器用磁鼓的制备方法,属于磁编码器技术领域。以铝合金为基体,以钴盐、还原剂、络合剂、缓冲剂按比例配成溶液,化学镀法制备Co-P或Co-Ni-P薄膜作为磁鼓的记录介质。薄膜中P含量为5~10%,为晶态,有磁性;膜厚为1~10μm。对用该法制得的磁鼓,可写入1024~2500对N、S磁极。本发明的优点在于:磁性薄膜磁性能优异,制备工艺稳定,实施性强,易于工业化批量生产;制得的磁鼓分辨率高,与各向异性磁电阻薄膜探头结合,可得到高精度的磁旋转编码器。
申请公布号 CN101046394A 申请公布日期 2007.10.03
申请号 CN200710064729.5 申请日期 2007.03.23
申请人 北京科技大学 发明人 于广华;王海成;王立锦;杜中美;滕蛟;朱逢吾
分类号 G01D5/249(2006.01) 主分类号 G01D5/249(2006.01)
代理机构 北京科大华谊专利代理事务所 代理人 刘月娥
主权项 1、一种高精度磁编码器用磁鼓的制备方法,以铝合金为基体,用化学镀法制备Co-P或Co-Ni-P薄膜作为磁鼓的记录介质,最后以旋转涂布的SiO2和C膜分别作为记录介质的保护层和润滑层;工艺步骤为:a、基体清洗:基体为铝合金,依次用丙酮、去离子水、无水乙醇超声波清洗,以除去表面的油污及物理吸附杂质;b、对铝鼓表面进行打磨,抛光,至表面粗糙度Ra≤100nm;c镀液配制:将钴盐、还原剂、络合剂、缓冲剂按比例配成溶液,其中钴盐20~30g/L,还原剂18~30g/L,络合剂110~130g/L,缓冲剂30~50g/L;镀液pH值为6.5~10,施镀温度为70~86℃;d、铝鼓镀完磁记录介质后,以旋转涂布的SiO2和C膜作为保护层和润滑层;e、充磁测试:用4096PPR的高分辨的光学编码器对磁鼓进行旋转充磁;高分辨光编码器输出的脉冲信号经分频电路分频后产生4096PPR、2048PPR、1024PPR、512PPR系列脉冲;用以检测磁鼓表面漏磁场的金属薄膜传感探头为各向异性磁电阻AMR传感元件,其电阻变化率为3~5%。
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