发明名称 |
减少MEMS器件中的空气阻尼 |
摘要 |
一种微机电器件,含有基板(10)、可移动装置,可移动装置能够在电极静电力的作用下向基板移动,可移动装置和基板的相对表面的形状使得当其在闭合位置时,通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC),配置使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面,从而进入或离开位于相对表面之间的区域。该通道可以使可移动装置的移动流体阻尼受控。增加进入或离开相对表面之间区域的流量,可以减少该阻尼,并且因此增加了器件打开和闭合的速度。该通道可以与电极的孔相连。 |
申请公布号 |
CN101049045A |
申请公布日期 |
2007.10.03 |
申请号 |
CN200580036791.2 |
申请日期 |
2005.10.24 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
彼得·G·斯蒂尼肯;约瑟夫·托马斯·马蒂纳斯·范贝克;特奥·里克斯 |
分类号 |
H04R19/00(2006.01);H01H59/00(2006.01) |
主分类号 |
H04R19/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
陈瑞丰 |
主权项 |
1.一种微机电器件,含有基板(10)、可相对于基板移动的可移动装置(e2),可移动装置和基板的相对表面的形状使得当它们在闭合位置时,通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC),其被配置为使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面,从而进入或离开位于相对表面之间的区域。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |