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发明名称 A CANTILEVER SENSOR USING BOTH THE LONGITUDINAL AND THE TRANSVERSAL PIEZORESISTIVE COEFFICIENTS
摘要
申请公布号 EP1588153(B1) 申请公布日期 2007.10.03
申请号 EP20030779768 申请日期 2003.12.20
申请人 NANONORD A/S 发明人 THAYSEN, JACOB
分类号 G01N27/00;G01N11/00;G01N33/543 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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