建立于可移动至其它表面的芯棒上的电铸弹簧

摘要

与在随后会被蚀刻去的牺牲层上形成接触结构不同的是，弹性弹簧接触结构通过镀金属以在可再使用的芯棒上形成接触结构来制造。在一个实施例中，芯棒包括插入通过衬底中的镀金属通孔的形式或模子区域。然后实施镀金属，以在芯棒的模子区域上产生弹性接触件并将弹簧接触件附连至衬底。在第二实施例中，芯棒包括首先镀金属以形成弹性接触结构然后将其附连至衬底的区域而无需插入通过衬底的形式。在第二实施例中的附连可以在用来形成弹簧接触件的镀金属过程中实现，或者通过在从芯棒释放弹簧接触件之前或之后使用导电粘合剂或软焊来实现。

主权项

1.一种包括准备芯棒以用于后续形成和机械释放弹簧元件的方法。