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发明名称
摘要
申请公布号 JP3985462(B2) 申请公布日期 2007.10.03
申请号 JP20010129325 申请日期 2001.04.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L29/43;H01L21/02;H01L21/28;H01S5/323;H01S5/343 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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