糙化结合至基片的铜表面的方法

摘要

本发明涉及用于提供适合随后的多层层压成型的糙化铜表面的方法与组合物。粘附促进组合物主要由氧化剂、pH调节剂、形貌改性剂(图1)、以及均匀性促进剂组成。可以使用涂覆促进剂替代均匀性促进剂或添加至均匀性促进剂中。该方法还可包含均匀糙化的铜表面与后浸液接触的步骤，其中该后浸液包含吡咯或硅烷化合物或该吡咯与该硅烷的结合。该后浸液还可包含单独或结合的钛酸酯、锆酸酯、以及铝酸酯。

主权项

1、一种铜表面粘附促进组合物，其主要由氧化剂、pH调节剂、形貌改性剂、以及至少均匀性促进剂与涂覆促进剂之一组成，其中该组合物不包含表面活性剂，所述氧化剂是过氧化氢；所述形貌改性剂是五元芳香稠合N-杂环化合物，该N-杂环具有在1-位结合至氢原子上的氮原子；所述均匀性促进剂具有下式：其中，R₁及R₂独立地选自：氢或羟基、氨基、烷基、羟基烷基、氨基烷基、硝基烷基、巯基烷基或烷氧基；及所述涂覆促进剂是在稠环中有1至3个氮原子的五元芳香稠合N-杂环化合物，其中所述氮原子均不结合至氢原子；基于该组合物的总重量，所述氧化剂是以介于0.1％与5％的范围存在；基于该组合物的总重量，所述pH调节剂是以介于0.01％与20％的范围存在；及所述形貌改性剂是以介于0.1g/l与20g/l的范围存在。