发明名称 A FLOW DEFINING STRUCTURE FOR USE WITH A CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1839024(A1) 申请公布日期 2007.10.03
申请号 EP20060719569 申请日期 2006.01.13
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 GRUDZIEN, CHRIS, P.
分类号 G01L9/06;G01L9/12 主分类号 G01L9/06
代理机构 代理人
主权项
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