制造液体排放头的方法

摘要

部件基材上具有第一缝隙形成元件和固定部分，在第一缝隙形成元件和固定元件上形成可移动元件，在可移动元件上形成第二缝隙形成元件。除去第一缝隙形成元件，在掩模图案下涂布并曝光壁材料。壁材料形成图案以完全形成液体流路壁和液体供应端口，并且除去第二缝隙形成元件，由此更容易地形成侧面阻挡物，其中该阻挡物稳定地支撑可移动元件使得可移动元件的移动被精确的控制以封闭液体排放端口以及可移动元件与该侧面阻挡物之间的微小缝隙。

主权项

1.一种制造液体排放头的方法，其中该排放头具有多个排放液体的排放端口；多个液体流路，其中每个流路的一端与每个所述的排放端口相连，并具有在液体中产生气泡的气泡发生区域；用于产生能量以生成将增长的气泡的气泡发生装置；多个液体供应端口，每个端口均安装成使每个所述液体流路与公共液体供应室相连；和可移动元件，其中每个可移动元件具有固定部分和可移动部分，与所述液体供应端口之间具有缝隙并支撑在所述液体流路侧，该方法包括下面步骤：在具有所述气泡生成装置的部件基材上形成第一缝隙形成层，以形成第一缝隙形成元件，并且形成图案；在所述部件基材上没有被所述第一缝隙形成元件占据的部分，形成与所述第一缝隙形成元件同样高度的所述可移动元件的固定部分；在所述第一缝隙形成元件和固定部分上形成所述可移动元件；在所述液体流路的侧壁和所述可移动元件的可移动部分的侧面之间、以及在所述液体供应端口和所述可移动元件的可移动部分的上表面之间形成用于形成缝隙的第二缝隙形成元件；除去所述第一缝隙形成元件，同时在与所述可移动元件紧密接触的状态下完整保留所述第二缝隙形成元件；至少在所述第二缝隙形成元件上和所述可移动元件的周缘上形成壁材料；将所述壁材料形成图案以同时形成所述液体流路壁和所述液体供应端口；和除去所述第二缝隙形成元件。