| 发明名称 | 半导体制造设备 | ||
| 摘要 | 一种半导体制造设备，其特征在于，该设备包含：一腔室；以及一控制器模块，包括：多个控制器，用以控制该腔室的内部状况；一控制箱，位于该腔室之外，其中，该多个控制器中的每个分别装置于该控制箱中；和一移动式控制箱支持器，其中该控制箱装载于该控制箱支持器之上，并在该控制箱支持器上滑动。 | ||
| 申请公布号 | CN100341109C | 申请公布日期 | 2007.10.03 |
| 申请号 | CN03120834.7 | 申请日期 | 2003.03.20 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 高富珍 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;王刚 |
| 主权项 | 1.一种半导体制造设备，其特征在于，该设备包含：一腔室；以及一控制器模块，包括：多个控制器，用以控制该腔室的内部状况；一控制箱，位于该腔室之外，其中，该多个控制器中的每个分别装置于该控制箱中；和一移动式控制箱支持器，其中该控制箱装载于该控制箱支持器之上，并在该控制箱支持器上滑动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||