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L'invention concerne un capteur résonant MEMS de type de surface, comportant un résonateur (4) à excitation dans un plan, caractérisé en ce qu'il comporte :- une première zone (2), dite zone épaisse, présentant une première épaisseur (E1), formant masse sismique,- une deuxième zone (4), mince, présentant une deuxième épaisseur (E2), inférieure à la première, pour la détection.
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