| 发明名称 |
Optisches Verfahren zum Messen von Schichtdicken und anderen Oberflächeneigenschaften von Gegenständen wie Halbleiterscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60032411(T2) |
申请公布日期 |
2007.09.27 |
| 申请号 |
DE2000632411T |
申请日期 |
2000.05.16 |
| 申请人 |
LUXTRON CORP. |
发明人 |
SCHIETINGER, CHARLES W.;HOANG, ANH N. |
| 分类号 |
G01B11/06;B24B37/013;B24B49/04;B24B49/12;G01N21/47 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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