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发明名称 Bindungsschicht für Substrate die auf Silizium basiert sind
摘要
申请公布号 DE602004008145(D1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 DE200460008145T 申请日期 2004.05.21
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORP. 发明人 EATON, HARRY E.;SUN, ELLEN Y.;CHIN, STEPHEN
分类号 C04B41/50;C04B37/00;C04B41/87;C23C28/04;C23C30/00;F01D5/28;F02C7/00 主分类号 C04B41/50
代理机构 代理人
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