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发明名称 CHEMISCHER ABSCHEIDEREAKTOR UND DESSEN VERWENDUNG FÜR DIE ABSCHEIDUNG EINES DÜNNEN FILMS
摘要
申请公布号 DE60035948(D1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 DE20006035948 申请日期 2000.06.19
申请人 ASM GENITECH KOREA INC. 发明人 LEE, CHUN-SOO;KANG, WON-GU;LEE, KYU-HONG;YI, KYOUNG-SOO
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;C23C16/515 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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