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发明名称 METHOD FOR ENHANCING FLUORINE UTILIZATION
摘要
申请公布号 KR100760891(B1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 KR20050066728 申请日期 2005.07.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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