| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Komponente mit einer Nanonadelstruktur |
| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Komponente mit einer Nanonadelstruktur. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass eine Vielzahl an Nanonadeln (100) auf einem Substrat (40) unter Verwendung eines Elektrolyten (20) elektrochemisch aufgewachsen wird.
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| 申请公布号 |
DE102006013362(A1) |
申请公布日期 |
2007.09.27 |
| 申请号 |
DE200610013362 |
申请日期 |
2006.03.16 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
DAHL JENSEN, JENS;KRUEGER, URSUS;LUETHEN, VOLKMAR |
| 分类号 |
B82B3/00;G09F9/30;H01L49/00 |
主分类号 |
B82B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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