| 发明名称 |
Teilchenoptische Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb derselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10235455(B4) |
申请公布日期 |
2007.09.27 |
| 申请号 |
DE20021035455 |
申请日期 |
2002.08.02 |
| 申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
CLAUSS, WILFRIED |
| 分类号 |
H01J37/147;H01F7/06;H01J37/317;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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