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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen
摘要
申请公布号 DE60315575(D1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 DE20036015575 申请日期 2003.10.08
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOPCON 发明人 ISOZAKI, HISASHI;YAMAZAKI, MICHIHIRO;YOSHIKAWA, HIROSHI;TAKASE, TAKEHIRO;SHIDA, YUTAKA;IWA, YOICHIRO
分类号 G01B11/30;G01N21/95;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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