Piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung

摘要

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung bereitzustellen, die einen einzelnen oder eine Vielzahl von akustischen Schicht-Volumen-Resonatoren umfasst, wobei eine Frequenz-Impedanz-Eigenschaft gegenüber einer Störung unempfindlich ist. In einem akustischen Schicht-Volumen-Resonator wird eine piezoelektrische Dünnschicht durch ein Auflagesubstrat über eine Haftschicht getragen. Eine obere Elektrode und eine untere Elektrode, die jeweils ein vorbestimmtes Muster aufweisen, sind auf oberen und unteren Oberflächen der piezoelektrischen Dünnschicht ausgebildet. Ferner ist auf der oberen Oberfläche der piezoelektrischen Dünnschicht eine zusätzliche Schicht zum Hinzufügen einer Masse zu einer Außenseite eines Anregungsbereichs überlagert auf der oberen Elektrode ausgebildet.