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发明名称 Ein virtualisierter generischer Ausrüstungsmodelldaten- und Steuerrouter für eine Fabrikautomatisierung
摘要
申请公布号 DE10228804(B4) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 DE20021028804 申请日期 2002.06.27
申请人 VERIGY (SINGAPORE) PTE. LTD. 发明人 O'GRADY, WILLIAM T.;TAYLOR, JOEL;TAKEDA, RYO;YOSHIMURA, NOBUHIKO;MCNEILL, JOHN D.;SHAFER, DONALD F.;GILMORE, JANET;DOANE, PATRICK
分类号 G05B15/02;G06F13/00;G05B11/01;G05B19/408;G05B19/418;G06F19/00;H01L21/02;H04L29/10 主分类号 G05B15/02
代理机构 代理人
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