| 发明名称 |
Ion sources, systems and methods |
| 摘要 |
Ion sources, systems and methods are disclosed. |
| 申请公布号 |
US2007221843(A1) |
申请公布日期 |
2007.09.27 |
| 申请号 |
US20060599879 |
申请日期 |
2006.11.15 |
| 申请人 |
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发明人 |
WARD BILLY W.;NOTTE JOHN A.IV;FARKAS LOUIS S.III;PERCIVAL RANDALL G.;HILL RAYMOND |
| 分类号 |
G01N23/00;H01J27/02 |
主分类号 |
G01N23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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