发明名称 APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE AND METHOD OF DOING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100761303(B1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 KR20040074896 申请日期 2004.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/306;G03B27/10;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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