| 发明名称 |
Eigenschaftsmessverfahren für Hochfrequenzschaltung, Kalibriermuster und Kalibriervorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005021247(B4) |
申请公布日期 |
2007.09.27 |
| 申请号 |
DE20051021247 |
申请日期 |
2005.05.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K. |
发明人 |
HOSHI, HIROYUKI;KURUSU, HITOSHI |
| 分类号 |
G01R35/00;G01R23/04;G01R27/04;G01R27/32;G01R31/28;H01L23/544;H01L23/64;H01L49/00;H05K1/02 |
主分类号 |
G01R35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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