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发明名称 СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ АIIIBV
摘要
申请公布号 RU1584647(C) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 SU19884438874 申请日期 1988.06.09
申请人 Институт электроники АН БССР 发明人 Емель ненко Ю.С.;Ивлев Г.Д.;Кацапов Ф.М.;Т вловска  Е.А.
分类号 H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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