发明名称 Federsensor
摘要
申请公布号 DE69936893(D1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 DE1999636893 申请日期 1999.04.13
申请人 DELAWARE CAPITAL FORMATION INC. 发明人 VINTHER, GORDON A.;CHABINEAU, SCOTT D.;JOHNSTON, CHARLES J.
分类号 G01R1/067;H01L21/66;H01R13/24 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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