Zweidimensinale Profilierung von Dotierungsprofilen einer Materialprobe mittels Rastersondenmikroskopie

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtasten der Kapazität als Funktion der zweidimensionalen Struktur einer dielektrischen oder teilweise dielektrischen Materialprobe mittels der Spitze einer Sonde eines Rastermikroskops. Bei dem Verfahren ist vorgesehen, dass die Kapazitätsänderung während der Tastbewegung der Sonde von einer Position auf der Materialprobe zur nächsten Position als Strom gemessen und ausgewertet wird.