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发明名称
摘要
申请公布号	JP3980663(B2)	申请公布日期	2007.09.26
申请号	JP19950051970	申请日期	1995.02.16
申请人		发明人
分类号	H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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