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发明名称 TRANSPORT MODULE WITH LATCHING DOOR
摘要
申请公布号 EP1218264(A4) 申请公布日期 2007.09.26
申请号 EP20000950296 申请日期 2000.07.06
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 BORES, GREGORY, W.;ZABKA, MICHAEL, C.
分类号 H01L21/00;H01L21/673 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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