| 发明名称 | 掩模支撑座和蒸镀系统 | ||
| 摘要 | 一种用来承载掩模的掩模支撑座，其包含有一支架，一冷却回路，设于该支架上，用来传输冷却物质，一冷却物质入口，形成于该冷却回路上，用来输入冷却物质至该冷却回路，以及一冷却物质出口，形成于该冷却回路上，用来由该冷却回路输出冷却物质。 | ||
| 申请公布号 | CN101041890A | 申请公布日期 | 2007.09.26 |
| 申请号 | CN200610065463.1 | 申请日期 | 2006.03.24 |
| 申请人 | 统宝光电股份有限公司 | 发明人 | 黄壬昶;曾文绶 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/50(2006.01);H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种用来承载掩模的掩模支撑座，其包括：一支架；一冷却回路，设于该支架中，用来传输冷媒；一冷媒入口，形成于该冷却回路中，用来输入冷媒至该冷却回路；以及一冷媒出口，形成于该冷却回路中，用来由该冷却回路输出冷媒。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区苗栗县 | ||