一种基于巨磁电阻的传感器

摘要

一种基于巨磁电阻的传感器，包括巨磁电阻元件[1]，压电元件[2]，附有磁性物质的微型悬臂梁[3]，巨磁电阻元件[1]的引出电极和引入电极[4和5]，压电元件[2]的引出电极和引入电极[6和7]。微型悬臂梁[3]固定在压电元件[2]上，悬在巨磁电阻元件[1]上方。压电元件[2]的上表面高于巨磁电阻元件[1]的上表面。巨磁电阻元件[1]的引入电极[4]和引出电极[5]分别连接巨磁电阻元件[1]，压电元件[2]的引入电极[6]和引出电极[7]分别连接压电元件[2]。微型悬臂梁[3]固有频率的改变，反映在巨磁电阻元件的阻值变化上，由此可得到所需要测量量的改变量。本发明制备，结构和匹配测量电路简单，且灵敏度高，反应快。多个巨磁电阻传感器可组成阵列，同时检测多种成分，确保采集的数据同时性和同地性。

主权项

1.一种基于巨磁电阻的传感器，其特征在于包括巨磁电阻元件[1]，压电元件[2]，附有磁性物质的微型悬臂梁[3]，巨磁电阻元件[1]的引出或引入电极[4和5]，压电元件[2]的引出或引入电极[6和7]；微型悬臂梁[3]固定在压电元件[2]上；压电元件[2]的上表面高于巨磁电阻元件[1]的上表面；微型悬臂梁[3]悬在巨磁电阻元件[1]上方；巨磁电阻元件[1]的引入电极[4]和引出电极[5]分别连接在巨磁电阻元件[1]上，压电元件[2]的引入电极[6]和引出电极[7]分别连接在压电元件[2]上。