带有含孔径的不透明铬涂层的光学元件及其制造方法

摘要

基板(310)包括位于基板(310)表面上的不透明的铬涂层(320)，对该铬涂层进行干蚀以形成孔径(340)，其中孔径中的铬低于可检测的极限。一种用于在基板(310)上形成不透明的铬涂层(320)的方法包括：在基板上沉积初始厚度的不透明的铬涂层，沉积的同时没有使用离子辅助或使用了检测不到的离子辅助；以及在使用或不使用离子辅助的情况下沉积该不透明的铬涂层的其余部分。在一个实施方式中，本发明涉及一种有孔的光学元件(300)，它具有透光的基板(310)以及位于该基板上用于定义孔径(340)的不透明的铬涂层(320)。各种材料构成的三层或四层不透明的涂层被设置，其中包括三层的铬/氧化铬/铬涂层。

主权项

1.一种基板，它包括位于被蚀刻的基板的表面上的不透明的铬涂层，以便在所述涂层中形成孔径，其中所述孔径中的铬低于可检测的极限，并且用于定义所述孔径的圆周的铬层边缘倾斜了一个小于15°的锐角。