涡轮分子泵的轴封防尘结构

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵的轴封防尘结构，对于进行腐蚀性气体、含有粉尘等微粒子的气体的真空排气的涡轮分子泵，可以防止所述腐蚀性气体及微粒子侵入到该涡轮分子泵的电机机壳内。即，电机机壳5具有吹扫气体供给口5a的涡轮分子泵中，从所述电机机壳5通往泵室8的吹扫气体路径中，设置了由设置于突出在转子1圆盘1a中心部的突起部1b外周部的间隙密封部3a，和具有设置于所述圆盘1a面上的离心叶片1c的离心叶片防尘部3b组成的轴封部。

主权项

1、一种涡轮分子泵的轴封防尘结构，电机机壳具有用于防止排气侵入到所述电机机壳内的吹扫气体供给口的涡轮分子泵中，其特征在于，从所述电机机壳通往泵室的所述吹扫气体路径中，设置了由间隙密封部与离心叶片防尘部组成的轴封部。