定子内嵌式电磁悬浮微系统

摘要

一种微机电系统技术领域的定子内嵌式电磁悬浮微系统，包括圆盒形微悬浮质量、上定子、中间基体、下定子、引线、中间柱、下基体。上定子和下定子完全相同，由稳定悬浮线圈外圈、稳定悬浮线圈内圈、连接线三部分组成。圆盒形微悬浮质量在上定子和下定子的电磁力作用下稳定悬浮在中间基体的外缘。定子内嵌式电磁悬浮微系统采用了圆盒形微悬浮质量和定子内嵌式结构，该结构可增加微悬浮质量的悬浮刚度和侧向稳定刚度，同时中间基体在圆盒形微悬浮质量不工作的时候起到对其进行限位的作用，更适合在微陀螺、微惯性测量单元等MEMS器件领域中的应用，解决了背景技术的不足。

主权项

1、一种定子内嵌式电磁悬浮微系统，包括：圆盒形微悬浮质量(1)、上定子(2)、中间基体(3)、下定子(4)、引线(5)、中间柱(6)、下基体(7)；上定子(2)和下定子(4)完全相同，分别由稳定悬浮线圈外圈(8)、稳定悬浮线圈内圈(9)、连接线(10)组成，其特征在于，上定子(2)和下定子(4)都设在中间基体(3)上，并与中间基体(3)形成固定联结，圆盒形微悬浮质量(1)在上定子(2)和下定子(4)的电磁力作用下稳定悬浮在中间基体(3)的外缘，稳定悬浮线圈外圈(8)和稳定悬浮线圈内圈(9)通过连接线(10)连接，引线(5)制作在上定子(2)、下定子(4)的底部以及中间柱(6)和下基体(7)上，从下基体(7)上引出，引线(5)位于中间柱(6)的外缘，和中间柱(6)形成固定连接，引线(5)从下基体(7)上引出。