| 发明名称 | 一种石墨清洗装置 | ||
| 摘要 | 一种石墨清洗装置，包括：一外壳，该外壳为一中空长方体结构；一石墨基座支架位于外壳内的下部；一石墨加热器为一箱体结构，该石墨加热器位于石墨基座支架的上方；一保温材料围绕在石墨加热器的四周；一上盖位于外壳的上方；一感应圈螺旋缠绕在外壳的外围；在外壳的一侧分别安装有三路气体入口；在外壳的另一侧安装有一个尾气排放口；一控温热电偶位于外壳的下部与石墨基座支架连接。用该装置清洗石墨基座时，不占用设备机时，提高设备的使用效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101041892A | 申请公布日期 | 2007.09.26 |
| 申请号 | CN200610064974.1 | 申请日期 | 2006.03.20 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 焦春美;刘祥林 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01);C23C16/18(2006.01);H01L21/205(2006.01) | 主分类号 | C23C16/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种石墨清洗装置，其特征在于，包括：一外壳，该外壳为一中空长方体结构；一石墨基座支架，该石墨基座支架位于外壳内的下部；一石墨加热器，该石墨加热器为一箱体结构，该石墨加热器位于石墨基座支架的上方；一保温材料，该保温材料围绕在石墨加热器的四周；一上盖，该上盖位于外壳的上方；一感应圈，该感应圈螺旋缠绕在外壳的外围；在外壳的一侧分别安装有三路气体入口；在外壳的另一侧安装有一个尾气排放口；一控温热电偶，该控温热电偶位于外壳的下部与石墨基座支架连接。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||