| 发明名称 | 晶片保持垫 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种晶片保持垫，即使是在外周部设有环状的加强部并形成有凹部的晶片也能够不破损地吸引保持。对在表面具有形成了多个器件的器件区域与围绕器件区域的外周剩余区域的晶片进行保持的晶片保持垫，具有：保持部，具备与外周剩余区域对应的环状的吸引保持面，并在该吸引保持面开设有吸引孔；和支撑保持部的支撑部。 | ||
| 申请公布号 | CN101043015A | 申请公布日期 | 2007.09.26 |
| 申请号 | CN200710088734.X | 申请日期 | 2007.03.20 |
| 申请人 | 株式会社迪斯科 | 发明人 | 桑名一孝 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈英俊 |
| 主权项 | 1.一种晶片保持垫，对在表面具有形成了多个器件的器件区域和围绕该器件区域的外周剩余区域的晶片进行保持，其特征在于，具有：保持部，具备对应于该外周剩余区域的环状的吸引保持面，并在该吸引保持面开设有吸引孔；及支撑该保持部的支撑部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||