| 发明名称 |
Thin-film field effect transistor and making method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1511096(A3) |
申请公布日期 |
2007.09.26 |
| 申请号 |
EP20040255178 |
申请日期 |
2004.08.27 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
FUKUI, IKUO |
| 分类号 |
H01L51/05;H01L21/335;H01L29/772;H01L29/786;H01L35/24;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L51/20 |
主分类号 |
H01L51/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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