用以侦测在半导体制程中之电荷效应之方法

摘要

一种半导体制程测试结构，其包括一闸极、一电荷捕捉层、以及一扩散区域。此测试结构系为一类电容结构，其中此电荷捕捉层会在不同制程步骤中捕捉电荷。一电荷泵电流可用以侦测在不同制程步骤中所产生之充电效应。