多晶矽之制造

摘要

多晶矽经沈积在管子或其他中空体之上。用该中空体置换用西门子型反应器(Siemens-type reactor)的细长棒且可以用简单的电阻元件从内部加热。该中空体直径系经选择以提供远大于矽细长棒之表面积。该中空体材料可经选择成使得，在冷却之下，沈积的多晶矽可以因为收缩性差异而轻易地与中空体分离开且落在一收集容器之内。