发明名称 一种对以铟氧化物为基础之相关材料提升其导电率及光穿透率的方法
摘要 光电元件之制作常需用透明电极材料,本发明为一种提升以铟化物及铟氧化物为基础之相关材料的导电率及光穿透率之方法,于材料制造过程中,在非退火过程于铟氧化物及铟氧化物为基础之相关材料加入碳,而使得铟氧化物及铟氧化物相关材料的导电率及光穿透率获得提升。
申请公布号 TW200735218 申请公布日期 2007.09.16
申请号 TW095108529 申请日期 2006.03.13
申请人 张忠诚 发明人 张忠诚
分类号 H01L21/324(2006.01) 主分类号 H01L21/324(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
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