光罩基板容器装置、光罩基板输送方法、光罩产品制造方法、及光罩曝光/传送方法

摘要

本发明之光罩基板容器装置，系用以传送及/或储存一光罩基板，其包含用以接收该光罩基板于其中之壳体，以及用以于一预定倾斜角度以倾斜状态中保持该光罩基板之保持部件。相较于适用以垂直地保持该光罩基板之纵向型光罩基板容器装置来说，该光罩基板容器装置可降低高度，因此，不仅有助于光罩基板容器装置之传送/储存，而且也可避免传送方法被限制之缺点。