| 摘要 |
可沿着Y轴方向移动的主高架与次高架系设置于平板上，而执行修复并可于X轴方向移动之光学系统系安装于主高架上。作为受测单元之LCD基板系安排在移动式支撑架上。可于X轴上移动并可于XY平面上旋转之探针感应器头系安装于主高架与次高架上。探针感应器头系由用以提供电流至电极之探针单元、以及用以侦测供应至电路配线的电流并判定断路/短路缺陷的存在之感应器单元所组成，其中探针单元与感应器单元彼此整合成一体。如此构造之修复装置可有效地进入LCD基板上之所有的电路配线区域，检测缺陷并修复缺陷，而无须将基板移除与重置。 |
