| 摘要 |
本发明提供一种无论检查时的温度环境为何皆可使探针确实地接触在接触对象之测试卡。为了达成该目的而构成为具备：复数个探针，系由导电性材料构成，用以接触前述半导体晶圆所具有的电极焊垫，以进行电气讯号之输入或输出；探针头，系收容保持前述复数个探针；基板，系具有对应于前述电路构造的配线图案；以及间隔变换器，系层积在前述探针头，用于变更前述基板所具有的前述配线图案之间隔且进行中继，并具有对应该中继之配线而设在与前述探针头相对侧表面的电极焊垫；前述探针之两端系于具有检查前述半导体晶圆时的最低温度和最高温度之平均温度的环境下，接触前述半导体晶圆及前述间隔变换器各自具有的前述电极垫之部附近。 |
