铜配线聚醯亚胺膜之制造方法

摘要

一种制造铜配线聚醯亚胺膜之方法，系从附载体铜箔叠层聚醯亚胺膜，藉由削减法或半加成处理法制造铜配线聚醯亚胺膜。将由于铜箔蚀刻而露出之聚醯亚胺表面，藉由能够将使用于铜箔表面处理之择自Ni、Cr、Co、Zn、Sn及Mo之中至少1种金属或含有该等金属至少1种之合金大部分除去之蚀刻液予以清洗，以抑制于铜配线镀锡时镀层成分之异常析出。