匹配盒及阻抗整合器

摘要

本发明系于匹配盒中，设置作为接触器的插入口之接触器插入部。于真空容器的侧面外壁固定匹配盒后，以使其保持与供电棒间的空间充裕之状态，决定位置。之后，因插入接触器至接触器插入部，确定外部电路与供电棒的电气的接触。又，设置于阻抗整合器的输出部分之插座40，于成形为圆筒形状之金属体40a的中心部，并具备为了保持嵌入供电棒32的嵌入孔41。于嵌入孔41的内壁，先行设置包含绝缘物之被覆层42，与供电棒32之间被电气的绝缘。经由第2高频电源51产生之高频电力，藉由诱导耦合传输至供电棒32。