用于制造和输送蒸汽的系统及方法

摘要

用于产生与输送蒸汽之系统与方法被揭示。一个蒸发槽(vaporizer tank)包含一种可以被加热的液体，使得在蒸发槽内的液体被加并且产生蒸汽。接着，这种流到终点的蒸汽可以被调节。本发明的实施例可以控制这种液体的温度，使得在该蒸发槽之中维持一种标准的蒸汽状态。该蒸发槽被耦接到一个质量流控制器，而该质量流控制器调节将蒸汽输送到下游的元件。藉由在该蒸发槽内实质地维持标准的蒸汽状态，在该质量流控制器位置的蒸汽压能够被实质地维持并且一种稳定与一致性的蒸汽流率被达成。