线锯晶锭切割系统以及使用晶锭预热,网预热,研磨液温度控制以及/或研磨液流率控制之方法

摘要

本发明系关于一种使用线锯制程将一晶锭切割为晶圆的系统及方法。一研磨液收集系统收集研磨液且将其供给至一研磨液处理系统，其用于控制该研磨液之温度及/或流率，藉此以一受控温度及/或一受控流率向用于切削该晶锭之切割系统提供研磨液输出，该晶锭可经预热。