离子植入机台及离子植入轮廓的调整方法

摘要

一种离子植入轮廓的调整方法，首先提供离子植入机台，此离子植入机台包括扫描器、连接至扫描器的控制装置及设置于扫描器产生带状离子束之一侧的晶圆承载装置。接着，将晶圆置于晶圆承载装置上。然后，以扫描器所产生的带状离子束对晶圆进行一个离子植入制程。其中，在进行离子植入制程时，晶圆承载装置使晶圆面向扫描器连续地进行旋转，且由控制装置将带状离子束分成多数个区域并调整各区域中扫描器的扫描速度。