加工硬脆材料之方法

摘要

本发明系关于一种加工硬脆材料之方法，包括以下步骤：(a)提供一硬脆材料；(b)提供一光束；及(c)将该光束聚焦于该硬脆材料之内部，且依据该硬脆材料之厚度来进行聚焦点之调变以加工该硬脆材料。藉此，有效地提高加工速率及抑制光刻区域之裂纹、凸块、烧焦的产生，同时不仅具有快速且有效的加工参数设计，更对光电、光学和微流体系统原型在硬脆材料上的生产制作与切割提供一个低成本、快速、简单且高品质的可行性加工方式。