使用一散焦雷射光由一基板上移除涂层之方法

摘要

一散焦雷射光提供一种由一基板上移除一涂层而无需额外清洁步骤之有效机制。一散焦雷射光应用于该涂层使得该雷射光之一焦点空间上与该涂层不重合。藉由自该雷射光施加充足能量以烧蚀一目标部分之材料并曝露基板在该目标部分下之一部分而移除该涂层之该目标部分。