发明名称 SISTEMA DE MANIPULACION.
摘要 Sistema de manipulación para recoger disquetes (4) facilitados desde una casete y para transferirlos a una cámara (6) de vacío a fin de tratar térmicamente los disquetes (4), con unos dispositivos (2, 9) de manipulación exterior e interior, donde el dispositivo (9) de manipulación interior presenta, al menos, una horquilla (10) capaz de desplazarse con varios grados de libertad, que opera en unión activa con unas pinzas (13) del dispositivo (2) de manipulación exterior, y donde el dispositivo (9) de manipulación interior se compone de una conducción (11) transversal, en la cual se conduce la horquilla (10) de modo desplazable lateral y verticalmente en un alojamiento (12), caracterizado porque los disquetes (4) transportados por el dispositivo (2) de manipulación exterior a la cámara (6) de vacío se pueden depositar en una placa (7) refrigeradora y en una placa (8) calentadora y porque el dispositivo (9) de manipulación interior se ubica en una zona refrigerada de la cámara (6) de vacío.
申请公布号 ES2280236(T3) 申请公布日期 2007.09.16
申请号 ES20000954315T 申请日期 2000.07.12
申请人 CENTROTHERM THERMAL SOLUTIONS GMBH + CO. KG 发明人 HARTUNG, ROLF
分类号 H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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