发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMNITRIDFILMEN UND SILIZIUMOXINITRIDFILMEN DURCH THERMISCHE CHEMISCHE AUFDAMPFUNG
摘要
申请公布号 AT371263(T) 申请公布日期 2007.09.15
申请号 AT20030772312T 申请日期 2003.09.23
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 DUSSARRAT, CHRISTIAN;GIRARD, JEAN-MARC;KIMURA, TAKAKO;TAMAOKI, NAOKI;SATO, YUUSUKE
分类号 C23C16/42;H01L21/318;C23C16/30;C23C16/34;H01L21/314 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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